ALD用高濃度臭氧發(fā)生器Atlas H30功能介紹
在半導(dǎo)體領(lǐng)域用臭氧發(fā)生器屈指可數(shù),如果MKS SEMOZON? AX8415、SEMOZON? AX8407、SEMOZON? AX8410 ,住友臭氧發(fā)生器貨期太長(zhǎng),不能滿足現(xiàn)在要求,那同林推薦Atlas H30,雖然不能完全替代前面幾個(gè)型號(hào),但可以作為替代產(chǎn)品來(lái)使用。下面是功能介紹視頻。
可用在半導(dǎo)體、ALD行業(yè)。