韓國(guó)半導(dǎo)體用臭氧發(fā)生器CN-1介紹
優(yōu)點(diǎn)
產(chǎn)生高濃度臭氧
臭氧濃度220mg/L(約15%)
流量調(diào)節(jié)0~2[LPM]
臭氧出口壓力0~2kg/c㎡
原料空氣氧氣、氮?dú)?/p>
可調(diào)節(jié)壓力0.5~1.2kg/c㎡
冷卻式水冷式專用
其他氧氣發(fā)生器外置,需要外部冷卻水供應(yīng),防逆流(可選)
參數(shù)
型號(hào)名稱:CN-1
臭氧濃度:220g/? 氧氣 1.0 LPM 標(biāo)準(zhǔn)
功耗:MAX 0.7KW (氧氣發(fā)生器,冷卻器單獨(dú))
電源規(guī)格:220V 1Φ 60Hz
冷卻方法:僅限水冷式
冷卻液需求:3LPM 或更高版本
流量控制:Flow Controller
控制臭氧濃度:Digital Volume
顯示設(shè)備
1. 液晶屏顯示 -RUN,PURGE,ERROR,PV[%],SV[W]
2. 測(cè)量?jī)xLCD:顯示臭氧生成濃度值
3. 控制器:在雷莫特操作時(shí)設(shè)置目標(biāo)臭氧濃度
4. 流控制器:設(shè)置供氣流量
5. O<> 壓力表:臭氧發(fā)生器內(nèi)部壓力指示
控制臭氧的產(chǎn)生:功耗控制在 12% 到
進(jìn)出口:1/4"(6.3Φ)
主材:Stainless Steel, Aluminum
尺寸 (WXDXH):479 × 446 × 843(mm)
產(chǎn)品重量:約 60 Kg
操作條件
? 正常溫度 (0°C 至 30°C))
? 通風(fēng)良好且無(wú)濕氣的地方