韓國(guó)半導(dǎo)體用臭氧發(fā)生器CN-1介紹
優(yōu)點(diǎn)
產(chǎn)生高濃度臭氧
臭氧濃度220mg/L（約15%）
流量調(diào)節(jié)0~2[LPM]
臭氧出口壓力0~2kg/c㎡
原料空氣氧氣、氮?dú)?/p>
可調(diào)節(jié)壓力0.5~1.2kg/c㎡
冷卻式水冷式專用
其他氧氣發(fā)生器外置，需要外部冷卻水供應(yīng)，防逆流（可選）
參數(shù)
型號(hào)名稱：CN-1
臭氧濃度：220g/? 氧氣 1.0 LPM 標(biāo)準(zhǔn)
功耗：MAX 0.7KW （氧氣發(fā)生器，冷卻器單獨(dú))
電源規(guī)格：220V 1Φ 60Hz
冷卻方法：僅限水冷式
冷卻液需求：3LPM 或更高版本
流量控制：Flow Controller
控制臭氧濃度：Digital Volume
顯示設(shè)備
1. 液晶屏顯示 -RUN，PURGE，ERROR，PV[%]，SV[W]
2. 測(cè)量?jī)xLCD：顯示臭氧生成濃度值
3. 控制器：在雷莫特操作時(shí)設(shè)置目標(biāo)臭氧濃度
4. 流控制器：設(shè)置供氣流量
5. O<> 壓力表：臭氧發(fā)生器內(nèi)部壓力指示
控制臭氧的產(chǎn)生：功耗控制在 12% 到
進(jìn)出口：1/4"(6.3Φ)
主材：Stainless Steel, Aluminum
尺寸 （WXDXH）：479 × 446 × 843(mm)
產(chǎn)品重量：約 60 Kg
操作條件
? 正常溫度 （0°C 至 30°C）)
? 通風(fēng)良好且無(wú)濕氣的地方
